Spectroscopie des rayons X

La spectroscopie des rayons X rassemble plusieurs techniques de caractérisation spectroscopique de matériaux par excitation par rayons X. Trois familles de techniques sont le plus souvent utilisées.

Spectroscopie électromagnétique

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Selon les phénomènes mis en jeu, on distingue trois classes :

Mécanisme Nom en français Nom en anglais Excitation Exemples Détection
Spectrométrie d'absorption Spectrométrie d'absorption des rayons X (SAX) X-ray absorption spectroscopy (XAS) Rayons X XANES, EXAFS Rayons X non absorbés
Spectroscopie d'émission Spectroscopie d'émission de rayons X (de) X-ray emission spectroscopy (XES) Radiations d'électrons Rayons X émis
Spectroscopie d'émission de rayons X induite par des particules chargées Particle induced X-ray emission (PIXE) Radiations de particules chargés (ions) Rayons X émis
Spectroscopie de fluorescence Spectrométrie de fluorescence des rayons X (SFX) X-ray fluorescence spectroscopy (XRF) Rayons X Fluorescence de rayons X

L'analyse se fait par l'une des deux méthodes suivantes :

Spectroscopie photoélectronique

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La spectroscopie photoélectronique utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectrométrie photoélectronique X ou spectroscopie des rayons X de photoélectrons (X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) en anglais) aussi connue sous le nom de spectroscopie d'électrons pour l'analyse chimique (ESCA).

Spectroscopie électronique Auger

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La spectroscopie électronique Auger (en) (AES) utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectroscopie électronique Auger induite par rayons X (X-ray induced Auger electron spectroscopy (XAES) en anglais).