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Les micro et nanotechnologies regroupent les sujets concernant l'architecture, la caractérisation, la production de structures et de systèmes à l'échelle du micron ou du nanomètre (ce qui correspond à une longueur équivalente à quelques dizaines/centaines d'atomes). Depuis l'avénement de la microélectronique dans les années 1960, ce domaine n'a cessé de prendre de l'ampleur, aussi bien dans le domaine des sciences et de la recherche, que dans la vie quotidienne (avec la micro-informatique et la téléphonie mobile, notamment). Les progrès technologiques successifs ont permis l'émergence d'un nouveau domaine : les nanotechnologies. Elles ouvrent de nombreuses perspectives très prometteuses à l'intersection de la physique, de la technique, de la chimie, de la biologie et de la médecine.

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Lumière sur…

La microscopie électronique à balayage (MEB ou SEM pour Scanning Electron Microscopy en anglais) est une technique de microscopie électronique basée sur le principe des interactions électrons-matière, capable de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon.

Basé sur les travaux de Max Knoll et Manfred von Ardenne dans les années 1930, le principe du MEB consiste en un faisceau d’électrons balayant la surface de l’échantillon à analyser qui, en réponse, réémet certaines particules. Ces particules sont analysées par différents détecteurs qui permettent de reconstruire une image en trois dimensions de la surface.

Les travaux menés au laboratoire de Charles Oatley dans les années 1960 à l’université de Cambridge ont grandement contribué au développement des MEB et ont conduit en 1965 à la première commercialisation par Cambridge Instrument Co. Aujourd’hui, la microscopie électronique à balayage est utilisée dans des domaines allant de la biologie aux sciences des matériaux et un grand nombre de constructeurs proposent des appareils de série équipés de détecteurs d’électrons secondaires et dont la résolution se situe entre 0,4 nanomètre à 20 nanomètres.

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