Disiliciure de tungstène
composé chimique
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Le disiliciure de tungstène est un composé chimique de formule WSi2. Il s'agit d'une céramique réfractaire semiconductrice de couleur bleu-gris[3], obtenue notamment en faisant réagir de l'hexafluorure de tungstène WF6 avec du silane SiH4, du dichlorosilane SiH2Cl2 ou du disilane Si2H6[4] :
| Disiliciure de tungstène | |
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| __ W __ Si Structure cristalline du disiliciure de tungtène |
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| Identification | |
|---|---|
| No CAS | |
| No ECHA | 100.031.723 |
| No CE | 234-909-0 |
| PubChem | 16212546 |
| SMILES | |
| InChI | |
| Propriétés chimiques | |
| Formule | WSi2 |
| Masse molaire[1] | 240,01 ± 0,01 g/mol Si 23,4 %, W 76,6 %, |
| Propriétés physiques | |
| T° fusion | 2 165 °C[2] |
| Solubilité | insoluble dans l'eau |
| Masse volumique | 9,4 g·cm-3[2] à 20 °C |
| Composés apparentés | |
| Autres cations | Disiliciure de molybdène |
| Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |
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- 2 SiH4 + WF6 ⟶ WSi2 + 6 HF + H2 ;
- 2 SiH2Cl2 + WF6 + 3 H2 ⟶ WSi2 + 6 HF + 2 HCl ;
- Si2H6 + WF6 ⟶ WSi2 + 6 HF.
Il est utilisé comme matériau de contact dans l'industrie des semiconducteurs, où il est appliqué par dépôt chimique en phase vapeur[5] (CVD).
Notes et références modifier
- Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- « Fiche du composé Tungsten silicide, 99.995% (metals basis excluding Mo), Mo <20ppm », sur Alfa Aesar (consulté le ).
- (en) W. M. Haynes, CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data, David R. Lide, 93e édition, CRC Press, Boca Raton, 2012, p. 4-96. (ISBN 978-1-4398-8049-4)
- (en) Hugh O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, William Andrew, Elsevier Science, 1999, p. 332. (ISBN 0-8155-1743-2)
- (en) R. A. Levy, Microelectronic Materials and Processes, Springer, 1989, p. 204, 237 sqq.. (ISBN 0-7923-0154-4)
