Nitrate d'hafnium
composé chimique
Le nitrate d'hafnium est un composé chimique de formule Hf(NO3)4. C'est un sel d'hafnium et d'acide nitrique HNO3. Il s'agit d'un solide légèrement volatil pouvant être sublimé à 110 °C sous 0,1 mmHg, ce qui permet de l'utiliser pour déposer des couches minces de dioxyde d'hafnium HfO2 par atomic layer deposition car il se décompose au-delà de 160 °C en HfO(NO3)2 puis en HfO2[3].
Nitrate d'hafnium | |||
Ions constitutifs du nitrate d'hafnium | |||
Identification | |||
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Nom systématique | nitrate d'hafnium(IV) | ||
Synonymes |
nitrate d'hafnium |
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No CAS | |||
No ECHA | 100.035.927 | ||
No CE | 239-536-7 | ||
PubChem | 167292 | ||
SMILES | |||
InChI | |||
Propriétés chimiques | |||
Formule | HfN4O12 |
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Masse molaire[1] | 426,51 ± 0,02 g/mol Hf 41,85 %, N 13,14 %, O 45,01 %, |
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Précautions | |||
SGH[2] | |||
H272, H315, H319, H335, P210, P220, P221, P305+P351+P338, P405 et P501 |
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Transport[2] | |||
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Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |||
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Il peut être obtenu par réaction de tétrachlorure d'hafnium HfCl4 avec du pentoxyde d'azote N2O5[4].
Notes et références modifier
- Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
- (en) « Hafnium Nitrate », sur americanelements.com, American Elements (en) (consulté le ).
- (en) J. F. Conley Jr., Y. Ono, W. Zhuang, D. J. Tweet, W. Gao, S. K. Mohammed et R. Solanki, « Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide Using Anhydrous Hafnium Nitrate », Electrochemical and Solid-State Letters, vol. 5, no 5, , p. C57 (DOI 10.1149/1.1462875, lire en ligne).
- (en) Weiwei Zhuang, John F. Conley, Yoshi Ono, David R. Evans et R. Solanki, « Hafnium Nitrate Precursor Synthesis and HfO2 Thin Film Deposition », Integrated Ferroelectrics, vol. 48, no 1, , p. 3-12 (DOI 10.1080/10584580215449, S2CID 50290009, lire en ligne).